Il microflussimetro di massa del gas XR-F001 è stato progettato appositamente per la misurazione e il controllo del processo di tutti i tipi di gas a basso flusso. Questa gamma di sensori è realizzata con chip avanzati di rilevamento del flusso di sistemi microelettromeccanici (MEMS) per tutti i tipi di gas puliti. La tecnologia di imballaggio unica lo rende disponibile per tutti i tipi di diametro di tubo, a basso costo, facile da installare, senza compensazione della temperatura e della pressione, e può sostituire i tradizionali misuratori di flusso volumici o a differenza di pressione.